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HKVA-1122 大量程系列

产品概述:
  HKVA-1122 大量程系列是一种基于MEMS工艺的高灵敏度、低耦合、自限位压阻式单轴加速度传感器,具有灵敏度高、抗冲击载荷能力强、线性度好、轴间耦合效应低的特性。
  整体结构以三明治式的叠层密封保护,加速度计芯片包含上、下玻璃封装盖板和中间惯性力敏感检测层。整个加速度计检测层结构简单,上、下玻璃封装盖板分别与支撑外框进行对位硅-玻璃阳极键合,形成一个半封闭的腔室,通过设计合适的缝隙宽度保证质量块具有恰当的空气阻尼系数使加速度计具有优异的动态响应特性。
产品特点:
  HKVA-1122 大量程系列传感器主要由MEMS敏感单元,控制电路和外壳三部分组成。其中MEMS敏感单元采用体硅SOI工艺制作,为惠斯登压阻式检测结构,控制电路为ASIC电路,包括检测,放大,输出等部分,实现敏感单元的加速度的检测,并转换为相应电信号输出,外壳采用LCC封装。
适用范围:
  产品主要用于航天、航空、汽车、工业自动化等行业产品的加速度测量。参数仅供参考,我们可以根据用户需求进行研发生产。
外形尺寸:
m71cvxjb.png
详细技术性能指标:

项目参数参数参数
型号100020005000
量程 g±1000±2000±5000
零位 V1.651.651.65
灵敏度(uV/g)1450725290
零点漂移 g2410
零点偏置 g±10±20±50
灵敏度漂移 %0.50.50.5
热零点漂移 %/℃0.050.050.05
热灵敏度漂移 %/FS/℃0.050.050.05
非线性 %0.80.80.8
工作温度 ℃-55~85-55~85-55~85
储存温度 ℃-55~125-55~125-55~125
启动时间 ms<1<1<1
抗冲击 g200002000020000
功耗 mA<4<4<4
尺寸 mm3.8X3.8X1.43.8X3.8X1.43.8X3.8X1.4
供电电压 V3.3~53.3~53.3~5
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