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HKVA-1122-400

产品概述:
HKVA-1122-400是一种基于MEMS工艺的高灵敏度、低耦合、自限位压阻式单轴加速度传感器,具有灵敏度高、抗冲击载荷能力强、线性度好、轴间耦合效应低的特性。
整体结构以三明治式的叠层密封保护,加速度计芯片包含上、下玻璃封装盖板和中间惯性力敏感检测层。整个加速度计检测层结构简单,上、下玻璃封装盖板分别与支撑外框进行对位硅-玻璃阳极键合,形成一个半封闭的腔室,通过设计合适的缝隙宽度保证质量块具有恰当的空气阻尼系数使加速度计具有优异的动态响应特性。
产品特点:
HKVA-1122-400传感器主要由MEMS敏感单元,控制电路和外壳三部分组成。其中MEMS敏感单元采用体硅SOI工艺制作,为惠斯登压阻式检测结构,控制电路为ASIC电路,包括检测,放大,输出等部分,实现敏感单元的加速度的检测,并转换为相应电信号输出,外壳采用LCC封装。
适用范围:
产品主要用于航天、航空、汽车、工业自动化等行业产品的加速度测量。参数仅供参考,我们可以根据用户需求进行研发生产。
外形尺寸:
外形尺寸
详细技术性能指标:
量程:±400 g
带宽(3dB):5000 Hz
零偏稳定性:0.05%/FS
标度因子非线性:1%/FS
典型工作电流: 4 mA
模拟输出:(0.2~3.1)V
工作电压范围:3 ~ 5 V
工作温度范围:-55°C ~ +85°C
LCC封装: 3.8 x 3.8 x 1.4(mm)
抗冲击(带电):10,000 g
工作方向:Z轴

方向定义:
方向定义

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